WIPO专利WO1992014102A1 Fluid heater

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公开号:WO1992014102A1
申请号:PCT/JP1992/000086
申请日:1992-01-29
公开日:1992-08-20
发明作者:Kanichi Kadotani；Kazuhiko Kubota；Mitsuru Ohaku
申请人:Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho；
IPC主号:H05B3-00

专利说明:
[0001] 明細書流体加熱器技術分野
[0002] 本発明は、輻射熱によって被加熱流体を共振加熱する流体加熟器に係り、特に半導体デバイスの製造工程におけるシリコン等のウェハーの洗浄後、エッチング液、レジスト剝離液の加熱及び温度制御並びに食品用油の加熱及び温度制御等、被加熱流体を流しながら、その加熱及び温度制御を好適に行える流体加熱器に関する。背景技術
[0003] 先ず、流体加熱器の好適な使用例を、図 1 0の半導体ウェハー処理液の温度制御装置を参照して説明する。同図において、処理槽 1 0 0内には処理液 2 0 0が入っており、ポンプ 3 0 0によってテフ口ン配管 4 0 0内を流れ、流体加熱器 5 0 0において加熱され、フィルタ 6 0 0によつて処理液中に混入している異物が除去されて処理槽 1 0 0内へ戻る。また、処理槽 1 0 0の処理液 2 0 0の温度はセンサー 7 0 0によつて検出され、検出された温度が設定温度に近づくようにコントローラ 8 0 0が、流体加熱器 5 0 0を制御する。同図中、符号 5 1 0は流体加熱器 5 0 0を内蔵するボックスである。また符号 9 0 0は半導体ウェハ一である。
[0004] 図 1 1 ( A ) , 図 1 1 ( B ) は従来の流体加熱器の斜視図及び断面図である。即ち、流体加熱管 1 の外周に電気ヒータ 2を配設し、導入管 3 1から導入した流体 Cを加熱し、導出管 3 2から排出する構成となっている。本例では内側から) 1 に、流体加熱管 1、空隙 7、ニクロム線や力ンタル線等でなる 8本の平行な電気ヒータ 2及び断熱材 4で構成されている。
[0005] しかるに、上記従来の流体加熱器には次の問題点がある。流体加熱器は輻射熱を利用して流体を加熱するが、輻射熱による被加熱物の温度上昇速度は、輻射面積が一定であれば、被加熱物の吸収波县帯のエネルギー密度（単位面積で単位時間における透過エネルギー）に比例し、また、エネルギー密度が一定であれば輻射面積に比例する。つまり、加熱速度を早めるにはヱネルギー密度を高めるか、又は輻射面積を增加させる必要がある。
[0006] ところで、エネルギー密度を高めるには「ヱネルギー密度は輻射を発する物体の瘟度の 4乗に比例する j とするステフアン ' ボルツマンの法則により、電気ヒ —タ 2を高温にすればする程よい。しかし、仮に電気ヒータ 2だけを高温にしても、エネルギーが流体加熱管 1 に吸収されなければ、電気ヒータ 2の温度だけが上昇して溶損'してしまう。また、電気ヒータ 2の数を増やして輻射面積を '増加しても、電気ヒータ 2が短絡して溶損してしまう。さらに、電気ヒータ 2の外周側からの輻射熱の一部は、断熱材 4方向へ放射されて断熱材 4に吸収されてしまうため、流体加熱に寄与しない。
[0007] 他方加熱速度を早めるには、輻射面積を增加させればよいが、流体加熱管 1が大きくなり、該流体加熱器が大型化する。また、流体加熱管 1内の流体において、その中心部を流れる流体には熱が伝導し難く、結果として加熱速度は向上しない _c
[0008] 特に、半導体ウェハー製造時は、洗浄用、ヱチング用、レジスト用等として了ンモニァ過水、硫酸、塩酸、フッ酸等の薬液を流体加熱器 5 0 0内で 5 0〜 ί δ 0 ' C程度まで加熱させて使用するが、流体加熱器 5 0 0の耐腐食性や加熱棻液の低 ¾染性等についての技術が不明瞭である。
[0009] 例えば、上記従来技術と異なる流体加熱器として特開昭 6' 1年第 1 1 6 2 4 6 号に記載の実施例がある。これは、図示しないが、電気ヒータの外周に流体加熱管を配設した構成となっている。即ち、この流体加熱器は、赤外線放射体なる電気ヒータと、流体加熱管の内管を搆成する石英ガラスとが一体構成となっている。かかる構成では、赤外線放射体を交換する場合、新規部品に付着している物質が流路内に持ち込まれてしまう。新規部品を洗浄するにしても、交換時には流跎 T JP92/00086 一 3 一を外界にさらすため、外界から流路内へ異物が侵入する可能性もある。半導体デバイス製造工程におけるシリコン等のゥェハー処理液では、液中の異物濾過をクリ―ンルーム並みに行なう必要があるため、流路への異物持ち込みを伴う作業は避けなければならない。さらに、着脱時には必ず薬液が漏洩し、他の部材ゃ身体に付着して腐食や健康阻害の要因となる。これを防ぐためには、流体加熱管から薬液を予め除去しておく必要があり、煩わしい作業となる。また、エッチング用やレジスト剝離用液体は、繰り返し使用するとデバィスの汚れで汚染されるので、定期的に処理液を抜いて新たな処理液を入れなければならない。この場合、加熱前の低温液体と髙温になっている流体加熱管の内筒とが、直接接触して内筒への熱衝撃が大きいため、その寿命を著しく縮める要因となる。図 1 1 ( A ) , ( B ) に示した構成ではこの傾向がさらに大きくなる。即ち、断熱材 4で囲まれた電気ヒータ 2は、電流供給を止められた後でも县時間高温を保っている。ここて流体 Cを抜いて加熱前の流体 Cを加熱管 1内に流入すると、この新たな流体 Cは加熱管 1の表面で沸騰して大量の蒸気を発生し、沸騰の熱衝撃と蒸気圧とで流体加熱管 1を破壊してしまうことが発明者により確認されている。発明の開示
[0010] 本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み、高工ネルギー密度構造でかつ受輻射面積が増加する流体加熱器を提供することを第 1目的としている。加えて、保守が容易で汚染源進入防止にも優れた流体加熱器を提供することを第 2目的としている。
[0011] 上記第 1目的を達成するため、本発明に係る流体加熱器は、電気ヒータの外周に流体加熱管を配設し、さらに流体加熱管の外周に内向き反射部材を配設すると共に、この流体加熱管を透明部材で構成している。
[0012] また、電気ヒータの外周に流体加熱管を配設し、この流体加熱管は、前記電気ヒータ側が透明部材であり、外側が內向き反射部材である構成としてもよい。さらに、この流体加熱管は前記電気ヒータの外側が内向き反射部材である代わりに、輻射熱吸収部材で搆成してもよい。
[0013] 加えて、電気ヒータは U字形であり、流体加熱管は略半円形であってその中に反射板を有し、この U字形電気ヒータを略半円形流体加熱管の IMI部內に納めた構成としてもよい。
[0014] なお、流体加熱管外側の內向き反射部材の反射面と、流体加熱管外側の幅射熱吸収部材の外周に設けた內向き反射部材の反射面は、金、アルミニウム、酸化すず、インジウム、クロム等の光反射膜である。
[0015] 上記第 2目的を達成するため、本発明に係る流体加熱器では、電気ヒータは石英ガラス管式赤外線ヒータであり、流体加熱管は電気ヒータ側が透明部材である石英ガラス管と外側が輻射熱吸収部材であるフッ素樹脂管とからなり、この石英ガラス管がフッ素樹脂管の両端閉塞壁に設けられた孔にシ一ル部材を介して嵌装された構成としている。流体加熱管の外側は、その断面が多角形でもよい。また、流体加熱器は筐体内に配置されており、この筐体は金、アルミニウム、酸化すず、インジウム、クロム等の光反射膜が內向きに被覆された構成をとしてもよい。
[0016] かかる構成によれば、電気ヒータからの輻射熱は基本的には総て流体加熱管に放射されて流体を加熱する。そして、初めの流体加熱に寄与しなかった流体透過輻射熱は、一旦流体加熱管の外側を透過するが、さらに外璟された内向き反射材で反射し、再度流体加熱管の外側を透過して流体內に再放射され、流体を再加熱する。
[0017] 流体透過輻射熱は、流体加熱管の外側自体が内向き反射部材であるときは、この外側を透過することなく流体内に再反射し、流体を再加熱する。或いは、流体透過輻射熱が流体加熱管外側の輻射熱吸収部材で吸収されるときも、その後は伝導熱となって流体を再加熱する。
[0018] また、流体加熱管は石英ガラス製の管と、フッ素樹脂製の管という耐腐食性材料で構成したので、流体加熱熱管の耐腐食性や加熱流体の低污染性等が向上する。電気ヒータも石英ガラス管式赤外線ヒータ'としたので、高温に耐え、保守性か向上する。
[0019] さらに、内向き反射部材の反射面と輻射熱吸収部材の外周に設けた内向き反射部材の反射面を金、アルミニウム、酸化すず、インジウム、クロム等の光反射膜とすることにより、透過輻射熱の洩れを防止すると共に、流体に再輻射させて流体加熱に再寄与させている。
[0020] 加えて、管壁に流体の流入部及び流出部を有し、両端が開放された流体加熱管の外管内部に、両端が開放された透明な流体加熱管の内管を前記外管の内壁との間に空間を有して配置し、これら外管と内管の両端同志をシール接続すると共に、前記内管内部にその内壁との間に空間を有して電気ヒータを配置し、支持部^ によつてこの電気ヒータの両端部を支持した構成としてもよい。
[0021] 前記 U字形電気ヒータを略半円形流体加熱管の凹部内に納め、この流体加熱管を筐体内に配置すると共に、この筐体上部に設けたキヤップに支持部材によつて前記 U字形電気ヒータの両端部を支持してもよい。
[0022] かかる構成によれば、流体加熱器は電気ヒータだけを着脱できるため、流体交換時に流体加熱管から流体を賒去しておく必要がなく、保守が容易になり、汚染源の混入も防止できる。図面の簡単な説明
[0023] 図 1 は本発明に係る第 1実施例の流体加熱器であって図 1 (A) は斜視図、図 1 (B) は断面図である。図 2は第 2及び第 3実施例の流体加熱器であって図 2 (A) は斜視図、図 2 (B) は断面図である。図 3は第 4実施例の流体加熱器であって図 3 (A) は斜視図、図 3 (B) は断面図である。図 4は第 5実施例の流体加熱器であって図 4 (A) は斜視図、図 4 (B) は断面図である。図 5は第 6 実施例の流体加熱器であって図 5 (A) は斜視図、図 5 (B) は断面図である- 図 6は第 1 0実施例の流体加熱器であって図 6 (A) は斜視図、図 6 (B ) は断面図である。図 7は第 1 1実施例の流体加熱器の斜視図である。図 8は第 1 2実施例のの流体加熱器であって図 8 (A) は断面図、図 8 (B) は電気ヒータ嫱の正面図、図 8 (C 1 ) 及び（C 2 ) はキヤップの正面図とその側面図、図 8 (D 1 ) 及び（D 2) は第 2リングの正面図とその側面図、図 8 (E 1 ) 及び（E 2 ) は第 2リングの正面図とその側面図である。図 9は第 1 3実施例の流体加熱 ¾ であって図 9 (A) は断面図、図 9 (B) はキヤッブの正面図、図 9 (C 1 ) 及び（C 2) はリングの正面図とその側面図である。
[0024] 図 1 0は流体加熱器の好適な使用例を示す斜視図である。図 1 1は従来の流体加熱器であって図 1 1 (A) は斜視図、図 1 1 (B) は断面図である。発明を実施するための最良の形態
[0025] 以下に本発明に係る流体加熱器の最良の実施例について、図面を参照して詳細に説明する。
[0026] 図 1 (A) , (B) は第 1実施例であって、電気ヒータ 2の外周に流体加熱管 1を配設し、さらにこの流体加熱管 1の外周に内向き反射部材 5を配設したものである。この流体加熱管 1は石英ガラス管からなる内外筒で大略構成される。詳しくは、左右に流体の導入管 3 1と導岀管 3 2とを備え、内筒 1 1内の空間部 7 1には中心軸に沿って電気ヒータ 2を備えた構成となっている。この空間部？ 1 內には空気が存在しているが、空気による光吸収はほとんどなく、電気ヒータ 2 からの輻射熱は大部分が流体加熱眚 1内へ入り、流体加熱に寄与することが発者による実験で確認されている。
[0027] 図 2 (A) , (B) は第 2実施例であって、電気ヒータ 2の外周に流体加熱管 1を配設した構成であり、第 1実施例のように流体加熟管 1の外周にさらに内向き反射部材 5を配設するのではなく、該流体加熱管 1の外側自体を内向き反射部材 1 2 bで構成している。
[0028] 第 3実施例として、図 2 (A) -, (B ) において流体加熱管 1の外側自体が内向き反射部材 1 2 bである代わりに、例へば黒色部材のような輻射熱吸収部材 1 2 cで構成してもよい。
[0029] 図 3は（A) , (B) 第 4実施例を示す。流体加熱管 1は半球形であり、流体加熱管 1 の電気ヒータ側 1 1を透明部材とし、外側を反射部材 1 2 bでコーティングするか、又は輻射熱吸収部材 1 2 c としたものである。電気ヒータ 2 は流体加熱管 1 の M部内に収められ、その上部は反射板 5でカバーされている。
[0030] 図 4 ( A ) , ( B ) に示す第 5実施例では、電気ヒータ 2 は石英ガラス管式赤外線ヒータである。流体加熱管 1 は、この石英ガラス管式赤外線ヒータ 2を内装している。流体加熱管 1 は、石英ガラス管式赤外線ヒータ 2側の石英ガラス管 1 1 と、外側のフッ素樹脂管 1 2 d と、シール部材 6 とを備えており、石英ガラス管 1 1 がフッ素樹脂管 1 2 dの両端閉塞壁の孔にシール部材 6を介して篏装されている。
[0031] 図 5 ( A ) , ( B ) は第 6実施例であって、流体加熱器自体の設置安定性を向上させるため、流体加熱管 1 の外側を、上記第 4実施例では円筒形としたものを角形としたものである。この外側形状は断面を多角形にすることにより、種々の態様が可能である。
[0032] 尚、流路に G3凸が存在すると汚染源の付着等が生ずるため、フッ素樹脂製管 1 2 c の表面は平坦でなければならない。通常は切削加工により製作するため、加工面に凹凸が現れるが、旭硝子会社からサイトップという商品名で発売されているフッ素榭脂を用いれば、ピンホールのない平坦度の高い射出成型品として管 1 2 cを得ることができる。また、被加熱流体がフッ酸系の試薬の場合には流路をすべてフッ素樹脂製としなければならないが、前記サイトップは石英ガラス表面にコーティングすることも可能であるから、石英ガラス管 1 1 の流路側表面にサィトップをコーティングすればよい。サイトツプは可視領域から赤外領域まで光透過率が 9 5〜 9 6 %であるため、数百オングストロームから数十ミクロンという薄膜コーティングが可能であることと合わせて、石英ガラス管 1 1 の流路側表面にサイトップをコーティングしても光透過の妨げにはならない。
[0033] また、第 1及び第 2実施例の内向き反射部材 5 > 1 2 bの反射面にはそれぞれ金を被覆してある。金の外にアルミニウム、酸化すず、インジウム、、クロム、その他の光反射材料を被膜してもよい（第 7及び第 8実施例）。また、第 3実施例で示した外側の輻射熱吸収部材 1 2 cの外周に、さらに内向き反射部材を備え、この反射面に金を被覆してもよい。この場合も、金以外のァルミ二ゥム、酸化すず、インジウム、クロム、その他の光反射材料で被膜してもよい（第 9実施例）。
[0034] 第 I 0実施例は図 6 ( A ) , ( B ) に示すように、金、アルミニウム、酸化すず、インジウム、クロム等の光反射材料が内向きに被覆されている筐体 8内に、流体加熱器の一部を覆うように配置したものである。また、筐体 8は図 7に示すように、流体加熱器を全部覆ってしまうような完全筐体でもよい（第 1 1実施例 ) 。尙、内向きとは、この被膜が筐体の外面であっても、内面であっても或いは内外面であってもよいが、その反射面は流体加熱器の在る内側を向いているという意味である。
[0035] 上記実施例によれば、いずれも電気ヒータ 2の外周に流体加熱管 1を配設し、流体加熱管 1內の流体を加熱することを基本としている。
[0036] 従来の流体加熱器は、電気ヒータ 2の外周側からの輻射熱分が流体加熱管 1に放射されず、断熱材 4に放射されるだけであり、この輻射熱分は流体加熱に寄与し難い。これに対し、上記実施例は基本的に総ての輻射熱を流体加熱管 1に放射するので、高速加熱となる。また、従来の流体加熱器に不可欠の断熱材を省いているため、場積は小さくなる。換言すれば、同じ加熱量ならば高ヱネルギー密度構造となり、受輻射面稹を增加する。
[0037] さらに、流体加熱熱管 1は石英ガラスやフッ素樹脂で構成しているので、流体加熱管 1の耐腐食性を向上することができる。フッ素樹脂管は射出成形品としているので、表面を平滑に製造でき、流体の付着を防ぐことができるので加熱流体の汚染を低下させることもできる。
[0038] 電気ヒータ 2は石英ガラス管式赤外線ヒータ、例えばハロゲンランプとしているので、フィラメント温度を 2 0 0 0 K〜 3 0 0 0 Kと、 1 0 0 0 Κ程度が限界のニクロム線と比べて 2〜 3倍程度の高温で使用でき、放射光エネルギーは 1 6 〜 8 1倍程度にまで向上する。また、既存の反射面や別途追設した反射面に金-. アルミニウム、酸化すず、インジウム、クロム等を被覆して光反射膜とし、輻射熱が外部へ透過するのを防止している。以上に加えて、電気ヒータ 2 と流体加熱管 1の內側透明部材 1 1 とは、間隙 7 1を以て対峙する構成であり、電気ヒータ 2の雨端が支持部材によって流体加熱管 1に着脱自在に遊嵌されている。具体的には、第 1 2実施例及び第 1 3実施例として図 8、図 9に示す。
[0039] 図 8 ( A ) において、電気ヒータ 2はハロゲンランプである。両端 2 2を溶融し平たく冷却成形された石英ガラス管 2 1 にはハ口ゲン元素及び不活性ガス 2 3 と、複数のァンカー 2 4 で支持されたタングステン製フィラメントコイル 2 5 とが密封されている。この両端 2 2の内部にはモリブデン箔 2 6が封入されており、このモリブデン箔 2 6 に前記フイラメントコイル 2 5 と外部からのリード 2 7 とが接続されている。かかる電気ヒータ 2と、流体加熱管 1である內管 1 1及び外管 1 2との結合関係の詳細は次のとおりである。
[0040] 先ず、電気ヒータ 2と内管 1 1 との結合関係を示す。内管 1 1は中央から頫に電気ヒータ 2、支持部材であるセラミックリング 9 1、 9 2を内蔵し、両端をシリコンゴム製ブッシュ 9 3でキャップされる。この電気ヒータ 2 は図 8 ( B ) に示す両端 2 2が図 8 ( E 1 ) 、 ( E 2 ) に示すセラミックリング 9 1 の凹内 9 1 1 に揷入される。リード 2 7 は図 8 ( D 1 ) 、 ( D 2 ) に示すセラミックリング 9 2 の凹内 9 2 1及び図 8 ( C 1 ) 、 ( C 2 ) に示すシリコンゴム製ブッシュ 9 3 の貫通孔 9 3 1を経て外部電源に接続される。セラミックリング 9 1、 9 2 は電気ヒータ 2が内管 1 1内に納められた状態で内管 1 1の县手方向に幾らか間隙を備え、かつ半径方向にも幾らか間隙を備えている。このため、セラミックリング 9 1、 9 2は図 8 ( A ) に示すように内管 1 1内に遊嵌された構成となっている。電気ヒータ 2 と内管 1 1 との熱膨張差は上記間隙で吸収される。
[0041] 次に、内管 1 1 と外管 1 2の結合関係を示す。中心部に内管 1 1が貫通する孔を備えた部材 9 4と、内外管 1 1、 1 2間のフェルール 9 5 とを準備する。部材 9 4の一端にはめねじが、また外管 1 2の両端にはおねじが刻まれている。そこでフヱルール 9 5を外管 1 2の溝内に納め、部材 9 と外管 1 2とを螺合することにより、内管 1 1及び電気ヒータ 2を外管 1 2に固設するようになっている。フェル一ル 9 δは耐熱性のフッ素樹脂製であり、被加熱流体を封止する他、内外管 1 1、 1 2 の熱膨張差を吸収している。
[0042] 上記実施例によれば、電気ヒータ 2は內管 1 1に対し脱着自在に遊嵌されされているため、電気ヒータ 2の交換時に流体加熱管 1から流体（薬液）を予め除 ί する必要がなく、保守が容易となり、かつ流路内への汚染源の混入も防止できる。しかも、被加熱流体と高温の電気ヒータ 2 とが非接触であるため電気ヒータ 2 への熱衝撃が少なく、その县寿命化を図ることができる。尚、その寿命はフイラメント温度に闋係し、仕様値は 2 8 0 0 Κで 3 0 0 0時間、 3 0 0 0 Κで 1 5 0 0時間となっており、交換頻度に換算すると、およそ 1面ノ0 .5 〜〗年であ。電気ヒータ 2は複数本使うことも多く、交換頻度はさらに大きくなる。
[0043] また、 U字形電気ヒータの場合は、図 9 ( Α ) , ( Β ) , ( C 1 ) , ( C 2 ) に示すように該流体加熱器は筐体 8内に納められ、 U字形電気ヒータ 2は反射板 5の貫通孔とキヤッブ 9 の貫通孔 9 4 1 とを通してゴムリング 9 5の溝 9 δ 1 に嵌められ、該リング 9 5はボルト 9 5 2によりキャップ 9 4に取りつけられている。この場合も、電気ヒータ 2が着脱容易であるばかりか、支持部材である二'' ムリング 9 δの弾性により遊篏された状態であるため、電気ヒータ 2の熱膨張が吸収されるため、熱膨張による局部的負荷で損傷を起こすこともない。本钶は飲料水用のポットに適用できる。産業上の利用可能性本癸明は、高エネルギー密度構造で受幅射面積が増加し、且つ保守が容易で汚染源進入も防止できる流体加熱器として有用である。特に、半導体デバイスの製造工程におけるシリコン等のウェハーの洗浄後、エッチング液、レジスト剝離液の加熱及び温度制御並びに食品用油の加熱及び温度制御等、被加熱流体を流しながら、その加熱及び温度制御を好適に行える流体加熱器として優れている。

权利要求:
Claims請求の範囲
1 . 電気ヒータの外周に流体加熱管を配設すると共に、この流体加熱管の外周に內向き反射部材を配設し、前記流体加熱管は透明部材である搆成を特徴とする流体加熱器。
2 . 電気ヒータの外周に流体加熱管を配設し、この流体加熱管は、電気ヒータ側が透明部材であり、外側が内向き反射部材である構成を特徵とする流体加熱器。
3 . 電気ヒータの外周に流体加熱管を配設し、この流体加熱管は、電気ヒータ使 j が透明部材であり、外側が輻射熱吸収部材である構成を特徴とする流体加熱器
4 . 前記電気ヒータは U字形であり、前記流体加熱管は略半円形であってその中に反射板を有し、この U字形電気ヒータは略半円形流体加熱管の凹部內に納められた構成を特徴とする請求の範囲 2または 3記載の流体加熱器。
5 . 前記流体加熱管の外側は、断面が多角形である構成を特徵とする請求の範囲 3記載の流体加熱器。
6 . 前記流体加熱管の外周もしくは外側の內向き反射部材の反射面は、金、アルミニゥム、酸化すず、インジウム、クロム等の光反射膜であることを特徴とする請求の範囲 1または 2記載の流体加熱器。
7 . 前記流体加熱管外側の輻射熱吸収部材の外周にさらに內向き反射部材を備え、この反射面は金、アルミニウム、酸化すず、インジウム、クロム等の光反射膜であることを特徴とする請求の範囲 3記載のの流体加熱器。一 I S —
8 . 前記電気ヒータは石英ガラス管式赤外線ヒータであり、前記流体加熱管は電気ヒータ側が透明部材である石英ガラス管と外側が輻射熱吸収部材であるフッ素榭脂管とからなり、この石英ガラス管がフッ素榭脂管の両端閉塞壁に設けられた孔に、シール部材を介して篏装された構成を特徵とする請求の範囲 3記載の流体加熱器。
9 . 前記流体加熱器は筐体内に配置され、この筐体は金、アルミニウム、酸化すず、インジウム、クロム等の光反射膜が内向きに被覆された搆成を特徵とする請求の範囲 3又は 8記載の流体加熱器。
1 0 . 管壁に流体の流入部及び流出部を有し、両端が開放された流体加熱管の外管内部に、両端が開放された透明な流体加熱管の内管を前記外管の内壁との間に空間を有して配置し、これら外管と内管の雨端同志をシール接続すると共に、前記内管内部にその内壁との間に空間を有して電気ヒータを配置し、支持部材によつてこの電気ヒータの両端部を前記内管內部に支持したことを特徵とする流体加
1 1 . 前記 U字形電気ヒータを略半円形流体加熱管の凹部内に納め、この流体加熱管を筐体内に配置すると共に、この箧体上部に設けたキヤップに支持部材によつて前記 U字形電気ヒータの両端部を支持したことを特徵とする請求の範囲 4記載の流体加熱器。

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